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AMAT, 신제품 '베리티SEM 10' 발표…"미세공정서 수율 극대화"

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AMAT, 신제품 '베리티SEM 10' 발표…"미세공정서 수율 극대화"이석우 어플라이드 머티어리얼즈 코리아 이미징 및 프로세스 제어 기술 총괄은 24일 진행한 온라인 기자간담회에서 신제품인 전자빔 계측 시스템 '베리티SEM 10'를 공개하며 미세화하는 공정에서도 고객사 요구를 구현할 수 있는 기술 및 제품 경쟁력을 강조했다.

AMAT는 베리티SEM 10이 EUV 및 새롭게 부상하는 차세대 하이 뉴메리컬어퍼처 EUV 공정으로 패터닝된 반도체 디바이스 소자의 패턴 거리측정을 정밀하게 측정하도록 설계됐다고 설명했다.

EUV 및 하이 NA EUV 공정에서 포토레지스트로 형성하는 패턴 두께가 점점 얇아지며 반도체 디바이스 소자의 패턴 거리 측정도 어려워지는 상황이다.

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